1.晶格分辨率：0.20nm                                                                        
2.加速电压40kV～120kV                                                                        
3.电子枪：冷束电子枪                                                                        
4.灯丝：钨灯丝                                                                      
5.放大倍数：50～1,200,000                                                                        
6.样品台：标配五轴马达驱动样品台                  
7.样品移动范围：X/Y,2mm;Z,1mm;最大倾斜角70度。                        
8.高衬度物镜极靴